美정부 “ASML, 中에 DUV 장치 팔지마”

반도체 노광 장치 세계 최대 기업인 ASML에 대해 중국 판매를 멈추도록 미국 정부가 네덜란드 정부에 요구한다는 보도가 나왔다. 이미 첨단 기술에 관한 시스템 판매를 일부 금지되어 있지만 이번 사건은 네덜란드 정부가 응하게 되면 금지 범위가 확대되고 중국 칩 제조사는 큰 타격을 받을 전망이다.

반도체 노광 장치는 반도체 제조 과정에서 중요한 역할을 한다. 이 분야 세계 최대 제조사가 바로 ASML. 극단자외선 리소그래피 EUV 장치에 대해선 기술을 ASML이 거의 독점 상태다. 하지만 EUV 라이선스 기술을 네덜란드에서 중국으로 수출하는 건 이미 미국에서 금지되어 있다.

이번에 미국이 요구하는 건 심자외선 리소그래피 DUV 기기에 대한 중국 수출 금지다. 2021년 12월 보도에 따르면 중국 최대 파운드리인 SMIC는 ASML과의 계약을 2022년까지 연장해 수입할 수 없는 EUV 기기 대신 DUV 장치를 도입할 계획이라고 한다. 당초 미국 정부 규제 강화에 의해 DUV 장치 취급이 어떻게 되는지 불명확해 혼란이 있었지만 나중에 DUV 장치가 규제 대상에서 벗어난 걸 알고 수입량을 늘리게 됐다고 한다. ASML 매출 중 30%는 중국에서 나오며 대부분은 SMIC에 판매하는 DUV 장비 매출이다.

네덜란드 정부가 미국 정부 의사를 받아들일지 여부는 아직 분명하지 않다. 만일 받아들여도 중국 기업이 ASML 이외에서 DUV 장치를 손에 넣는 방법이 아예 없는 건 아니다. 하지만 2021년 실적에서 ASML이 중국 기업에 판매하는 DUV 장치는 81대인 데 비해 니콘 같은 기업이 판매한 DUV 장치는 4대에 불과하다.

그 뿐 아니라 DRAM이나 3D NAND 메모리 생산 대부분은 중국에서 이뤄지고 있으며 중국 제조 공장을 빼고 생산을 한다면 전 세계적인 공급망 영향이 나올 것으로 전망된다. 관련 내용은 이곳에서 확인할 수 있다.