첨단 반도체 제조에 필수적인 EUV 리소그래피 장비를 세계에서 유일하게 제조하는 네덜란드 메이커 ASML과 대만에 거점을 둔 세계 최대 반도체 파운드리 TSMC가 중국의 대만 침공에 대비해 EUV 리소그래피 장비를 원격으로 무력화할 수 있는 시스템을 도입했다는 보도가 나왔다.
이에 따르면 중국 대만을 공격하면 대응 방안에 대해 미국 정부 관계자가 네덜란드와 대만 정부 관계자에게 우려를 표명했다고 한다. 이에 ASML과 회담한 네덜란드 정부는 EUV를 원격으로 무력화할 수 있는 능력을 보유하고 있으니 안심하라는 취지로 발언했다는 말을 ASML로부터 들었다고 전해졌다.
EUV 리소그래피 장비는 소형 버스 정도 크기이며 정기적인 유지보수와 업데이트가 필요하다. 보도에 따르면 ASML은 유지보수 차원에서 원격 조작으로 강제 셧다운이 가능하다고 하며 ASML이 정부 관계자에게 이런 계획을 설명한 게 신빙성이 있다는 견해를 보였다.
마크 리우 TSMC 회장은 2022년 인터뷰에서 중국이 대만을 침공하면 자사 반도체 생산은 중단될 것이라고 발언한 바 있다. 이게 ASML이 보유한 원격 셧다운 기능을 지칭한 것인지는 확실치 않지만 리우 회장은 침공은 대만 뿐 아니라 중국에도 경제적 혼란을 초래할 것이라고 경고하며 중국을 견제한 바 있다. 관련 내용은 이곳에서 확인할 수 있다.