지난 4월 3일 대만 동부 앞바다에서 규모 7.2 지진이 발생했다. 산사태가 발생하고 건물이 기울어지는 등 대만 동부 지역을 중심으로 큰 피해가 발생한 가운데 대만에 거점을 둔 반도체 파운드리 TSMC 역시 피해를 입었다.
이번에 발생한 지진은 1999년 규모 7.6을 기록한 921 지진 이후 가장 큰 규모였으며 지진 발생 24시간 이내에 9명이 사망하고 1,000명 이상이 부상당한 것으로 전해졌다.
지진 발생에 따라 TSMC는 제조 업무를 일시 중단했다. 다만 일부 장비 손상은 확인됐지만 주요 설비에는 거의 피해가 없었다고 밝혔다. TSMC 성명에 따르면 직원 안전을 위해 사내 절차에 따라 대피를 시작했지만 현재 모든 직원이 무사히 복귀해 업무를 재개하고 있다며 아직 상세 내용을 확인 중이며 안전을 고려해 대만 전역 제조시설에서 작업을 중단하고 검사 후 재개하기로 결정했다고 설명하고 있다.
TSMC에 따르면 대만 북서부 공장 인근에서 최대 규모 5, 타이중과 타이난 공장 인근에서 최대 규모 4 지진을 관측했다고 한다. TSMC는 애플, 엔비디아, AMD, 인텔 등 다수 기술기업 반도체를 위탁 생산하는 업체로 큰 피해를 입었다면 제품 생산에 큰 지연이 있었을 것이다.
TSMC는 자사는 지진 대응과 방재에 풍부한 경험과 능력을 갖추고 있으며 만전의 대비를 위해 정기적으로 안전 훈련을 실시하고 있다고 밝혔다. 이어 이번에는 지진 발생 10시간 만에 웨이퍼 허브 복구율이 70%를 넘었고 신설 웨이퍼 허브 복구율은 80%를 넘겼다며 일부 장비가 손상되어 생산라인에 영향을 미쳤지만 EUV 리소그래피 장비를 포함한 주요 기계에는 손상이 없었다고 밝혔다. 관련 내용은 이곳에서 확인할 수 있다.